一.SJ6000激光干涉仪概述 SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。   二.SJ6000激光干涉仪原理 中图SJ6000激光干涉仪发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。   三.SJ6000激光干涉仪应用 1、在数控机床检定中的应用 SJ6000激光干涉仪可用于精密机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度的测量，为机床误差修正提供依据。软件内置10项常用机床检验标准。使用激光干涉仪检测机床各项误差并进行修正是传统测量手段难以实现的技术，是大幅度提高数控机床的加工精度的关键措施。   数控机床轴定位精度、重复定位精度的检测   2、在三坐标检测中的应用 SJ6000激光干涉仪搭配其镜组和辅件可检测三坐标测量机的位移精度、直线度、垂直度。随着当代制造业对加工速度的要求提升，三坐标测量机各结构件由于高速运行产生机构变形，导致的动态误差不可忽略。使用激光干涉仪对三坐标测量机进行静态误差、动态误差测量和补偿，对提升测量精度具有重要意义。   三坐标线性精度、垂直度的检测 3、在位移传感器中的应用 利用激光干涉仪对位移传感器检定成为发展趋势，其特点是反应速度快、测量精度高，是位移传感器实现高精度校准的重要手段。   传感器线性精度的测量 4、与其他镜组配合的应用 SJ6000激光干涉仪与不同光学组件结合，可以实现距离、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数的测量，具有极高的精度和效率。     测长机线性精度、垂直度的测量     工业机器人标定   汽车装配与夹具定位   SJ6000激光干涉仪技术参数： 技术线性测长精度：±0.5ppm(0~40℃) 激光稳频精度：0.05ppm 分辨率：0.001um

一.SJ6000激光干涉仪功能 SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。   二.SJ6000激光干涉仪性能特点 1.测量精度高、速度快，稳定性好 ①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm) ②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级 ③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。 ④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度 ⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变 2. 应用范围广 ①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测 ②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析 ③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析 3.软件界面友好 ①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。 ②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。 ③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。 4 性价比高 性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。   三.SJ6000激光干涉仪测量方法 1.1.直线度测量 直线度测量构建 SJ6000激光头射出后的激光由直线度干涉镜以一定的小角度分为两束，并入射到直线度反射镜中。经直线度反射镜反射后，沿着新光路返回到直线度干涉镜中，经直线度干涉镜合束后返回激光头的进光口，由光电探测器、分析器完成计数和测量。     在直线度测量过程中，可以由直线度干涉镜或者直线度反射镜运动所产生相对于运动轴的横向移动来进行测量，一般尽可能的采用直线度干涉镜相对于直线度反射的运动，这样操作有利于提高测量的准确性和精度。直线度测量可以对水平面和垂直面进行测量，这取决于直线度干涉镜和反射镜安装的方法。     直线度测量应用 由于导轨磨损、事故造成的导轨损坏以及地基不牢导致的导轨弯曲等，会对机器的定位、加工精度带来直接的影响。直线度测量可以显示出机器导轨的弯曲或直线度的情况，并可由生成的直线度误差对机器的性能做出评价和补偿。 机器轴、直线导轨测量 当需要测量导轨较长时，传统的直角测量方法无法提供这样的测量长度和精度，测量时较重的角锥反射镜的移动可能会对测量的准确性产生影响，所有一般建议将质量较轻的直线度干涉镜作为移动部件。         机床工作台直线度测量 测量时，直线度反射镜固定在机床的工作台上，直线度干涉镜安装在移动的刀具位置，通过刀头的移动就可以记录下机床刀头的直线度。        

一.SJ5100光栅测长机功能 SJ5100光栅测长机具有精度高、使用方便、功能强等优点，能够检定精密量具、精密量规，如块规、环规、塞规、卡规、螺纹规、花键规、表类、尺类。还可以检测各种精密工件内外尺寸，如齿轮、花键、校对棒、非标量规等，具有通用性强的特点。 二.SJ5100光栅测长机显著特点 1.   全程绝对测量： SJ5100采用高精度德国进口长玻璃光栅尺作为长度方向定位，可进行高精度全行程绝对测量； 2.   高精度、高稳定性： 1) 国际领先的德国高精度光栅测量系统，分辨力达到0.01μm，测量精度高； 2) 国际领先的精密研磨导轨系统，导轨直线度极高，导轨材料耐磨性好、保证系统高精度稳定可靠的工作； 3) 进口特殊材料制作的高刚性、无变形测杆，保证测试数据的真实采集； 4) 采用倾角实时跟踪动态补偿，减小了系统阿贝误差，保证了测量结果的高精度； 5) 采用大理石基座，保证了在头座及五轴工作台的移动过程中不会产生变形以及仪器不受外界震动干扰，保证了仪器的稳定可靠； 6) 采用紧凑型摩擦驱动结构，保证了头座移动过程中的稳定性； 3.   双向恒测力： 1)  双向恒测力系统，减小了测力对测量结果的影响，保证了较高的系统测量精度； 2)  测力手动连续可调； 3)  测力传感器原理避免了仪器台面不水平及周围环境振动带来的测力误差。 4.   智能化管理与检测软件系统： 1) 仪器操作界面友好，操作者很容易即可基本掌握仪器操作，使用十分简便。 2) 10多年积累的实用检定软件设计经验，向客户提供简洁、实用、快速的操作体验； 3) 集成众多长度标准、规程，功能强大、自动处理数据、打印各种格式的检定报告，自动显示、打印、保存、查询检定记录； 4) 测量范围广，可满足绝大多数类型的量规、量块等长度参数测量； 5) 软件配备快速找拐点指示功能，方便客户快速便携地找到被测件的拐点； 6) 纯中文操作软件系统，更好的为国内用户服务； 7) 打印格式正规、美观。检定数据可存档，或集中打印，不占用检定操作时间； 8) 本仪器采用计算机大容量数据库储存，可自动记录保存所有检定结果。 5.   高性能五轴工作台： 1) X,Y,Z三轴采用高性能交叉滚子导轨：摩擦力极小，稳定性好，承载高；  2) Y轴平移、倾斜、水平旋转设计了高调节细度的结构，方便客户更好地找到三个轴的拐点；   3) Z轴标准配置及Y轴可选配置数显装置，可连接将数据传输到电脑，可用于锥螺纹及螺距测量。 三.SJ5100光栅测长机技术参数   技术指标 SJ5100-300 绝对测量范围 外尺寸 0~350mm 内尺寸 5~250mm 示值误差 ±（0.20+L/1000）μm，其中：L为被测长度，单位：mm 重复性(2s) 0.1μm 分辨力 0.01μm 测力 0.1~12N手动连续可调 测量最大螺纹中径 140mm（螺纹环/塞规） 仪器尺寸 1100*400*450 仪器重量 120Kg   五轴工作台 型号 SJ5100-W30 SJ5100-W15（可选） Z轴 0~50mm 0~50mm Y轴 ±25mm ±12.5mm X轴浮动 ±10mm ±5mm Z轴旋转 ±2.5° ±2.0° Y轴摆动 ±2.5° ±2.0° 负载 >30Kg >15Kg 台面尺寸 350mm*125mm 250mm*100mm             四.SJ5100光栅测长机软件内置标准   数据库内置中的常用标准 序号 标准号 标准名称 1 GB/T 3934-2003 国标普通螺纹量规 2 GB/T 1957-2006 国标光滑极限量规 3 GB/T 11853-2003 国标莫氏与公制圆锥量规 4 GB/T 11854-2003 国标7:24工具圆锥量规 5 JB/T 10588-2006 国家机械标准密封管螺纹(适用于工件新标准) 6 JB/T 10588-2006 国家机械标准密封管螺纹(适用于工件旧标准) 7 JB/T 10865-2008 国家机械标准统一螺纹量规 8 GB/T 22091.1-2008 国标55°密封管螺纹(用于柱与锥配合) 9 ISO 7-2：2000(国标) 国标55°密封管螺纹(用于锥与锥配合) 10 GB/T 10922-2006 国标非密封管螺纹量规 11 GB/T 197-1981 国标普通螺纹工件(老标准) 12 GB/T 197-2003 国标普通螺纹工件(新标准) 13 JB/T 10031-1999 国家机械标准用螺纹密封的管螺纹量规 14 ANSI/ASME B1.2-1983 美标统一螺纹 15 ASME B1.20.1-1983-R2001 美标管螺纹(NPT) 16 BS 919-2：2007 英标惠氏螺纹(特殊系列) 17 BS 919-2：2007 英标惠氏螺纹(标准系列) 18 BS 21：1985 英制密封管螺纹 19 BS 919-1：2007 英标统一螺纹 20 BS EN 10226-3：2005 英制密封管螺纹 21 ISO 1502-1996 ISO公制螺纹 22 ISO 228-2：1987 ISO非密封管螺纹 23 ISO 7-2：2000 ISO密封管螺纹 24 DIN ISO 1502-1996 德标公制螺纹 25 DIN 7162：1965 德标光面规(旧) 26 DIN 7150-2：2007 德标光面规(新) 27 DIN 2999：1973 德标密封管螺纹量规(旧) 28 DIN EN 10226-3：2005 德标密封管螺纹 29 JIS B0251-1998 日标公制螺纹(旧) 30 JIS B0251-2008 日标公制螺纹(新) 31 DIN EN ISO 3650 Mahr金属量块标准 32 GB/T 6093-2001 几何量技术规范（GPS）长度标准　量块 33 ISO 3650-1998 产品几何量技术规范(GPS) 长度标准 块规 34 GB/T1216-2013 外径千分尺 35 GB/T20919-2007 电子数显外径千分尺 36 GB 8061-1987 杠杆千分尺 37 GB/T 1957-2006  光滑极限量规 38 JB/T3237-2007 杠杆卡规 39 JBT10017-1999 带表卡规      

一.SJ207数显高度计用途 SJ207数显高度计广泛适用于多种应用,其应用包括精密工件检测、多点检测、测量设备监测和位置测量等众多领域。 二.SJ207数显高度计结构原理 SJ207数显高度计包括高精度光栅装置、密珠导轨的测量杆装置、高性能的高速采样等。 SJ207数显高度计采用高精度光栅，即玻璃基体的增量式光栅尺作为测量基准，所以支持大量程的测量。测量基准对震动和冲击不敏感，并具有确定的稳定特性。 增量光栅尺的扫描方法为光电扫描，因此无机械接触也无磨损。电子设备对输出信号进行细分至纳米级的极小测量步距，从而确保一个信号周期内微小位置误差。 三.SJ207数显高度计显著特点 测量精度高（高精度进口光栅、高精度导轨）；  可靠性好（经过10万次重复性实验）；  检测速度快：快速检测、示值稳定；  校准方便；  采用密珠导轨的测量杆能够承受很高的径向力且运动摩擦力极小；  应用广泛，自动检测设备、手动测量或定位设备-无论是长度、间距、高度、厚度或直线位移都可以快速、准确和可靠的测量。   四.SJ207数显高度计技术参数   型    号 SJ207 测量范围 （0~50）mm 配    置 50mm测头+ SJ102+陶瓷台架 测量基准 进口高精度增量式光栅 精度(20℃) 1μm 重 复 性 优于0.2μm 分 辨 力 0.1μm、0.5μm、1μm可切换 测量速度 小于7.2m/s 测 量 力 （1~1.4）N 驱动系统 被测物驱动，弹簧复位 测量测头 硬质合金球形测头（可选配平面测头、针形测头、偏心测头等） 显    示 8位LED 单位切换 mm/inch 输入电压 DC 12V，配专用适配器 功    能 自动归零/数据校准 工作温度 （0~40）℃，标准温度20℃      

  一.SJ5700轮廓仪用途 SJ5700轮廓仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数，角度处理（坐标角度，与Y坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线的距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟曲率半径、沟边距、沟心距、轮廓度、水平距离等形状参数。 SJ5700轮廓仪广泛应用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业。适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室。 在汽车、摩托车、制冷行业,可测汽车、摩托车、压缩机的活塞、活塞销、齿轮和气门顶杆的母线参数等.并可测量各种斜形零件的参数。 在轴承行业,可测内外套圈的密封槽形状(角度、倒角R、槽深、槽宽等);各种滚子轴承的滚子和套圈母线的凸度、角度、对数曲线; 电机轴、圆柱销、活塞销、滚针轴承、圆柱滚子轴承、直线轴承的滚动体和套圈的直线度；球轴承沟道的沟曲率半径及沟边距;双沟轴承的沟心距；四点接触轴承(桃形沟)的沟心距和沟曲率半径等。 二.SJ5700轮廓仪原理 SJ5700轮廓仪是一种两坐标测量仪器，仪器传感器相对被测工件表而作匀速滑行，传感器的触针感受到被测表而的几何变化，在X和Z方向分别采样，并转换成电信号，该电信号经放大和处理，再转换成数字信号储存在计算机系统的存储器中，计算机对原始表而轮廓进行数字滤波，分离掉表而粗糙度成分后再进行计算，测量结果为计算出的符介某种曲线的实际值及其离基准点的坐标，或放大的实际轮廓曲线，测量结果通过显示器输出，也可由打印机输出。 三.SJ5700轮廓仪性能特点 1、 高精度、高稳定性、高重复性：分辨力0.01μm，完全满足被测件测量精度要求。 1) 国际领先的高精度光栅测量系统，分辨力达到0.01μm，测量精度高； 2) 自主研发高精度研磨导轨系统，导轨直线度达到2um/200mm，导轨材料耐磨性好、保证系统稳定可靠工作； 3) 高性能直线电机驱动系统，保证测量稳定性高、重复性好； 2、 智能化管理与检测软件系统： 仪器操作界面友好，操作者很容易即可基本掌握仪器操作，使用十分简便。 1) 10多年积累的实用检定软件设计经验，向客户提供简洁、实用、快速的操作体验； 2) 功能强大、自动处理数据、打印各种格式的检定报告，自动显示、打印、保存、查询测量记录； 3) 测量范围广，可满足绝大多数类型的工件轮廓测量； 4) 纯中文操作软件系统，更好的为国内用户服务； 5) 打印格式正规、美观。检定数据可存档，或集中打印，不占用检定操作时间； 6) 本仪器采用计算机大容量数据库储存，可自动记录保存所有检定结果。 3、 测量力系统：   采用音圈电机测力系统，测力可实现从10～150mN连续可调，测力分辨力可达0.2mN；避免了老式砝码加载因周围环境振动带来的测力误差，降低了测力变化引起的测量误差。 4、 智能保护系统： 一旦出现主机与被测工件或夹具相撞、或测针在扫描过程中出现拉力过大，仪器会停止扫描保护测量系统和测针。 5、 灵活手动控制： 仪器配置了操作杆，可在测量工件前对测针进行粗定位；在脱离电脑的情况下，让测针左右、上下快速移动。    

一.SJ5700轮廓测量仪用途 SJ5700轮廓测量仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数，角度处理（坐标角度，与Y坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线的距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟曲率半径、沟边距、沟心距、轮廓度、水平距离等形状参数。 二.SJ5700轮廓测量仪技术参数 1. 粗糙度测量: ●基本参数： 测量范围：X轴200mm，Z1轴±80µm / ±40µm / ±20µm 直线度误差: ≤0.15µm/20mm，≤0.5µm/200mm 示值误差：±5% 分辨率：Z1轴0.04µm(±80µm), 0.02µm(±40µm), 0.01µm(±20µm) 测量速度：0.5 mm/s 和0.1 mm/s可调 ●硬件结构： 测针：标准型(高度小于8mm) 1支，触针半径2μm，静态测力0.75mN； 大理石平台：尺寸≥750×450mm； 电动立柱：高度≥450mm； ●测量软件 依照ISO3274等国际标准, 能自动选取截止波长； ●测量参数 R粗糙度：Ra,Rq, Rz,Rmax,Rpc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,R3z,RSm,Rs，Rsk,Rku, Rdq, Rlq,Rdc,RHSC,Rmr,Rz-L,Rp-L,R3z-L,Rdc-L,RMr-L,Pdc-L,PMr-L 核心粗糙度: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo P轮廓参数：Pa,Pq,Pt,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Plq,Pdc,PHSC,PPc,PMr, W波度轮廓参数：Wa,Wq,Wt,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdg,Wdc,WMr Motif参数：R,Ar,W,Aw,Rx,Wx,Wte,Nr,Ncrx,Nw,Cpm,CR,CF,CL ISO5436参数：Pt,D 轮廓类型: 支持D,P,W,R ●滤波器： 高斯滤波器、RC滤波器，相位修正滤波器 滤波波段可选择，也可任意设定； 支持自动选择符合标准的过滤方式和取样长度； 2. 轮廓测量： （1）X轴 测量范围：0～200mm； 示值误差：±(0.8+2L/100)um，其中L为水平测量长度，单位：mm； 分辨率：0.01um； 直线度：2um/200mm 测量速度：0.1～5mm/s； 移动速度：0～30mm/s （2）传感器Z1轴： 测量范围：±25mm； 示值误差：±(1.6+|2H|/100)um，其中H为垂直测量高度，单位：mm； 分辨率：0.01um； （3）Z轴： 测量范围：0～450mm； 移动速度：0～30mm/s； (5) 测量力：10～150mN； (6) 爬坡能力：上坡77 º，下坡83º； (7) 工作台：旋转角度：360度，X、Y移动 ：15mm。 3. 仪器尺寸：花岗岩平板750×450×100mm 整机：850×500×1100mm； 仪器重量：150Kg 4. 使用环境：无强磁场，无振动，无腐蚀气体 工作温度：20℃ ±2℃ 相对湿度：40-60%   三.SJ5700轮廓测量仪适用范围 SJ5700轮廓测量仪广泛应用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业。适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室。 在汽车、摩托车、制冷行业,可测汽车、摩托车、压缩机的活塞、活塞销、齿轮和气门顶杆的母线参数等.并可测量各种斜形零件的参数。 在轴承行业,可测内外套圈的密封槽形状(角度、倒角R、槽深、槽宽等);各种滚子轴承的滚子和套圈母线的凸度、角度、对数曲线; 电机轴、圆柱销、活塞销、滚针轴承、圆柱滚子轴承、直线轴承的滚动体和套圈的直线度；球轴承沟道的沟曲率半径及沟边距;双沟轴承的沟心距；四点接触轴承(桃形沟)的沟心距和沟曲率半径等。      

一.SJ5700轮廓仪用途 SJ5700轮廓仪具有精度高、使用方便、功能强等优点，能够对各种工件轮廓进行长度、高度、间距、水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径等几何参数测量。   二.SJ5700轮廓仪性能特点 1、 高精度、高稳定性、高重复性：分辨力0.01μm，完全满足被测件测量精度要求。 1) 国际领先的高精度光栅测量系统，分辨力达到0.01μm，测量精度高； 2) 自主研发高精度研磨导轨系统，导轨直线度达到2um/200mm，导轨材料耐磨性好、保证系统稳定可靠工作； 3) 高性能直线电机驱动系统，保证测量稳定性高、重复性好； 2、 智能化管理与检测软件系统： 仪器操作界面友好，操作者很容易即可基本掌握仪器操作，使用十分简便。 1) 10多年积累的实用检定软件设计经验，向客户提供简洁、实用、快速的操作体验； 2) 功能强大、自动处理数据、打印各种格式的检定报告，自动显示、打印、保存、查询测量记录； 3) 测量范围广，可满足绝大多数类型的工件轮廓测量； 4) 纯中文操作软件系统，更好的为国内用户服务； 5) 打印格式正规、美观。检定数据可存档，或集中打印，不占用检定操作时间； 6) 本仪器采用计算机大容量数据库储存，可自动记录保存所有检定结果。 3、 测量力系统：   采用音圈电机测力系统，测力可实现从10～150mN连续可调，测力分辨力可达0.2mN；避免了老式砝码加载因周围环境振动带来的测力误差，降低了测力变化引起的测量误差。 4、 智能保护系统： 一旦出现主机与被测工件或夹具相撞、或测针在扫描过程中出现拉力过大，仪器会停止扫描保护测量系统和测针。 5、 灵活手动控制： 仪器配置了操作杆，可在测量工件前对测针进行粗定位；在脱离电脑的情况下，让测针左右、上下快速移动。   三.SJ5700轮廓仪技术参数 1.X轴 1.测量范围：0～200mm； 2.示值误差：±(0.8+2L/100)um，其中L为水平测量长度，单位：mm； 3.分辨率：0.01um； 4.直线度：2um/200mm 5.测量速度：0.1～5mm/s； 6.移动速度：0～30mm/s； 2.传感器Z1轴 1.测量范围：±25mm； 2.示值误差：±(1.6+|2H|/100)um，其中H为垂直测量高度，单位：mm； 3.分辨率：0.01um； 3.Z轴 1.测量范围：0～450mm； 2.移动速度：0～30mm/s； 4.测量力：10～150mN； 5.爬坡能力：上坡77 º，下坡83º； 6.仪器尺寸（长×宽×高）：花岗岩平板750×450×100mm 整机：850×500×1100mm； 7.仪器总重量：约150Kg； 8.使用环境：无强磁场，无振动，无腐蚀气体 工作温度：20℃ ±2℃ 相对湿度：40-60%   四.SJ5700轮廓仪配置清单 标准配置： 1)  SJ5700-200轮廓测量仪主机  1台； 2) 组合校准规 1套； 3) 圆锥硬质合金测针  1支； 4) 单切面硬质合金测针1支； 5) 平口虎钳 1套； 6) 万向工作台 1套； 7) 测量软件1套；         8) 品牌计算机1套  1）主机配置：双核以上CPU，500GB硬盘，2G内存，Win7系统； 2）显 示 器：24寸液晶显示器。 9) 铝合金仪器配件箱1个； 10)  产品使用说明书1套； 11)  产品合格证、保修卡1套； 12)  免费保修1年。 可选配置： 1）夏、冬实验室工作服各1件。  

一.SJ6000激光干涉仪概述 SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。 SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。   二.SJ6000激光干涉仪性能特点 1.测量精度高、速度快，稳定性好 ①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm) ②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级 ③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。 ④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度 ⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变 2. 应用范围广 ①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测 ②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析 ③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析 3.软件界面友好 ①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。 ②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。 ③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。 4 性价比高 性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。   三.SJ6000激光干涉仪原理 一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。   从激光头射出的激光光束(1)具有单一频率，标称波长为0.633µm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光—反射光束(2)和透射光束(3)。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。   如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。如果两光程差发生变化，每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。这些变化（条纹）被数出来，用于计算两光程差的变化。测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。   应当注意到，激光波长将取决于光束经过的空气的折射率。由于空气折射率会随着气温、压力和相对湿度的变化而变化，用于计算测量值的波长值可能需要对这些环境参数的变化进行补偿。在实践中，对于技术指标中的测量精度，只有线性位移（定位精度）测量需要进行此类补偿，在这种情况下两束光的光程差变化可能非常大。   四.SJ6000激光干涉仪技术参数 系统性能     测量方式：单频     稳频精度：0.05ppm     动态采集频率：50 kHz     预热时间：5-10分钟     工作温度范围：0~38℃     环境温度范围：0~38℃，环境湿度：0~95%     存储温度范围：-20℃~70℃ 环境补偿示值误差     空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃     材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃     空气湿度传感器：±6% (0-95%)     大气压力传感器：±0.1kPa 线性测量     测量距离：0-40m     测量精度：0.5ppm (0-38℃)     测量分辨率：1nm     测量最大速度：3m/sec

一.SJ6000激光干涉仪概述 SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。 二.SJ6000激光干涉仪原理 中图SJ6000激光干涉仪发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。 三.SJ6000激光干涉仪用途 激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差 修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。 激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。 激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。 激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。

一.SJ6000激光干涉仪用途 SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。   二.SJ6000激光干涉仪显著特点 1.测量精度高、速度快，稳定性好 ①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm) ②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级 ③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。 ④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度 ⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变 2. 应用范围广 ①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测 ②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析 ③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析 3.软件界面友好 ①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。 ②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。 ③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。 4 性价比高 性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。   三.SJ6000激光干涉仪技术参数 系统性能     测量方式：单频     稳频精度：0.05ppm     动态采集频率：50 kHz     预热时间：5-10分钟     工作温度范围：0~38℃     环境温度范围：0~38℃，环境湿度：0~95%     存储温度范围：-20℃~70℃ 环境补偿示值误差     空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃     材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃     空气湿度传感器：±6% (0-95%)     大气压力传感器：±0.1kPa 线性测量     测量距离：0-40m     测量精度：0.5ppm (0-38℃)     测量分辨率：1nm     测量最大速度：3m/sec   四.SJ6000激光干涉仪软件内置标准   数据库内置的常用标准 标准号 标准名称 ISO230-2 老版国际标准 ISO230-1997 新版国际标准 ANSI B5.54 美国国家标准 ASME B89.1.12M 美国机械工程师协会标准 NMTBA 美国机床协会标准 BS 3800 英国机床标准 BS 4656 英国三测机标准 JIS B6330 日本国家标准 GB 17421-2000 中国国家标准 VDI 3441 德国机床标准